FFU的全称叫FAN FILTER UNIT,“风机过滤单元”,也就是风机和过滤器联结在一起,能自己提供动力的洁净设备。早在二十世纪六十年代,第一个洁净室的建立就已经开始出现FFU的应用了。
FFU最早出现于一些有高洁净度(≥100级联邦标准209E)要求的改造项目当中,用来解决以下三方面的问题:
二、无尘车间静压不足
三、空调机房面积不够
有一些改造项目,由于空调机房面积较小,不可能容纳大的空调机组,此时,用FFU的自带动力来弥补这一缺陷,从而可以减小使用的空调机组。这一优势也被应用到一些洁净度要求较低(如1000级10000级联邦标准209E)的场合。
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